第二五三章 PECVD设备

鞠躬gan谢（稻草人）大大100的打赏。

这两天在忙活公司营业执照年审，所以更新可能有点不正常，还请谅解。

实际上，在前世tft－lcdye晶面板生产线中应用的cvd技术和设备最多的是pecvd，也就是等离子增qiang化学气相沉积法，因为无论是常压化学气相沉积法，还是低压化学气相沉积法，在实际应用中的用chu1都不是很大，这主要是因为后世的tft－lcdye晶面板所用的玻璃基板大都是碱xing玻璃的缘故，因为无论是常压化学气相沉积法还是低压化学气相沉积法，在镀mo的时候都不适用于碱xing玻璃，虽说在前几代线的时候还能用得上，但随着技术的不断发展，这两zhongcvd技术的局限xing就凸显了chu来，毕竟这两zhong技术只能单独的针对某一个镀层，因此在后几代线中，这两zhongcvd技术和设备基本上就用不到了

而等离子增qiang化学气相沉积法则没有这zhong局限xing，最关键的是，这tft－lcdye晶面板制程中所需要的四层非金属镀mo，都能够用pecvd来解决，因此在前世，5代线之后的cvd设备，大都是采用pecvd技术而制造的cvd设备了。

当然在目前，除了李想知dao这个事情之外，其他的人还并不知dao这zhong事情，因此包括曰本人在内，都认为这三zhongcvd技术是必不可少的。不过，这次李想倒是发了善心，毕竟小曰本这次很大方，不仅同意了原本计划中的2代线，而且还附带了一条玻璃基板生产线，同时小曰本还同意从未来实业采购cvd设备。最关键的是，据李想所知，小曰本在得到了那三taocvd技术之后，立刻就开始组织相关人员进行技术攻关，试图自己来制造cvd设备，只不过小曰本似乎并不知daopecvd才是最关键的设备，因此他们是三zhong设备一起研发，导致了整ti研发进程的缓慢。

技术是技术，要把技术转化成为真正的产品，并不是那么容易就能zuo到的。

正是因为如此，李想才难得的发了一次善心，打算直接将pecvd设备卖给小曰本。毕竟以小曰本的实力而言，早晚也会发现其他两zhongcvd技术的不足之chu1，从而开始专心钻研pecvd技术。这是早晚的事情，不过再晚，小曰本也会走到前世的dao路上去的。

前世世界上最大的两家cvd设备制造商，一个是mei国应材公司下属的曰本子公司akt,一个也是同样来自于曰本的曰本真空技术株式会社，也就是ulvac。这两个公司一个世界排名第一，一个世界排名第二，几乎垄断了全球的cvd设备制造，由此可见小曰本的实力还是非常qiang大的。

反正这辈子华夏也要和曰本以及bang子国争夺tft－lcd行业的霸主地位，而且现在华夏落后曰本并不远，所以李想干脆也不玩那些虚的了，直接就在2代线上主推chupecvd设备。基于其他两zhong技术的cvd设备李想同样也会拿chu来的，至于小曰本怎么选择，那就是小曰本你们自个儿的事情了，别到时候给小曰本留下什么把柄。

咱三zhong设备都有，而且给你们推荐的是pecvd设备，你们非要自个儿全都买，等你们发现其他两zhongcvd设备不是很实用之后，那可就别怪哥们了。谁让你们不听哥们的推荐呢！

当然，pecvd设备的售价也要比其他两zhongcvd设备的售价稍微高上那么一点儿。其他两zhongcvd设备的售价均为1000万mei元一tao，而一台pecvd设备的售价是1100万mei元！

相比于pecvd设备，另外两zhongcvd设备无疑要简单了一些，因此只要能够制造chu合格的pecvd设备来，那么另外两zhong设备自然是手到擒来的事情。所以，李想和宏达电子机修bu的主任刘志这次来到一机床，拿的就是pecvd设备的图纸。

一台pecvd设备的个tou是相当大的，也是所有三zhong设备中个tou最大的。李想拿chu来的这tao设计图纸，如果一机床能够造chu来的话，那么这个大家伙将会拥有7。8米的宽度，10。8米的长度以及3。2米的高度，而它的总重量也会达到恐怖的53吨！

这个尺寸说起来有些模糊，换算成一下实际的，那就是大家伙儿应该都见过平房吧，就是那zhong宽3。5米，长大概在5。5米左右的平房，差不多四间这么大的平房才能够摆下这么一个大家伙！

没有办法啊，因为所有的镀mo工作都会在这个大家伙的内bu发生的，而且镀mo的时候对于无尘环境的要求极高，因此这个大家伙有很大一bu分都属于高洁净度的洁净室甚